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产品

自动晶圆图形缺陷 AOI 检测设备

1	高分辨率显微镜光学系统;
2	明场暗场光学检测;兼容双面快速检测;高精度XYR精密平台
3	MAPPING图输出;EFEM上下料，避免人工操作带来二次损伤
4	可拓展3D测量模块，红外测量模块

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